Op de productielijn kan een drager die met een natte behandeling is gereinigd, de vochtigheid niet meenemen naar de lithografiecel. Overblijvende filmlagen en watersporen verminderen niet alleen de opbrengst, maar vereisen ook herwerkzaamheden en beperken bovendien het mogelijk aantal ovensbeurten. De droger moet een consistente droogte bereiken, zonder dat er nieuwe deeltjes worden gegenereerd of dat de drager te veel wordt belast door hitte.
Wat belangrijk is onder de motorkap
Wij hebben de droger voor het reinigen van waferdragers ontworpen met behulp van kortegolffrequent infraroodverwarming (NIR). NIR dringt recht door water en dunne lagen heen, zodat de drager niet te heet wordt. Hierdoor ontstaat er een uniforme temperatuur over het oppervlak van de drager, met een nauwkeurigheid van ±0,1°C in de kritische zone. De herhaalbaarheid wordt gewaarborgd door de lampen en het gesloten regelsysteem: elke cyclus leidt tot dezelfde temperatuurverschillen. Hierdoor worden de condities tijdens het drogen stabiel gehouden. Het systeem kan worden gebruikt in schone ruimtes van klasse 1–100. Er wordt geen sprake van deeltjevorming tijdens het gebruik, en de uitlaatweg is zo ontworpen dat er geen deeltjes terugkeren in het systeem.
Waarom dit belangrijk is in de productie
In de productie zorgt deze droger ervoor dat er minder onzekerheid is bij de overgang van het reinigingsproces naar het lithografieproces. Photoresist is gevoelig voor temperatuurschommelingen; zelfs kleine hittepunten kunnen leiden tot problemen. Ons uniforme temperatuurbereik zorgt ervoor dat de drager zich binnen het optimale temperatuurbereik bevindt. Hierdoor zijn de droogtijd korter, wordt er minder energie verbruikt en zijn er minder afgekeurde producten vanwege watersporen. De module is ontworpen om 24/7 te werken, met constante temperatuurcondities en betrouwbare lampen. Hierdoor kan de productielijn ongestoord blijven draaien, zonder onnodige storingen.
Wat je in gedachten moet houden
NIR-droging vereist een rechtlijnige verbinding tussen de lampen en de drager. De afstand tussen de lampen en de oriëntatie van de drager zijn dus belangrijk. Als je afwijkt van deze standaarden, kunnen er schaduwen ontstaan. De installatie vereist elektriciteitsvoorzieningen en uitlaatsystemen die voldoen aan de eisen van schone ruimtes. Bovendien heeft de lampmodule een beperkte levensduur – plan regelmatig vervangingen in om de prestaties en herhaalbaarheid van de temperatuur te behouden.