Het goed regelen van IR-systemen in je waterstofsensorlijn
Het maken van waterstofsensoortjes vereist enige balansvinding. De thermische cycli moeten perfect zijn; anders werken de membraanstructuren niet goed en blijven de katalysatoren niet plakken.
Als je nog steeds gebruikmaakt van ouderwetse convectieovens, gok je eigenlijk maar wat. In een moderne ‘smart Fab’ maken we gebruik van hoogdichte infraroodsystemen. Waarom? Omdat je de warmte dan gemakkelijk kunt digitaliseren. Hierdoor wordt de thermische energie omgezet in een datasysteem dat communiceert met de rest van de apparatuur.
De kracht van infrarood
Wij gebruiken kortegolflengtestralers. Het voordeel is dat ze de energie rechtstreeks naar het sensormateriaal sturen. Er wordt geen tijd verspild aan het opwarmen van de lucht eromheen.
Dit voorkomt dat je apparatuur verandert in een soort grote ruimtedeurwarmer. Bovendien kan je de vermogen en spanning gemakkelijk aanpassen, zodat je snel de gewenste temperatuur bereikt. Het gaat erg snel. En dat betekent dat je die gevoelige chemische lagen niet per ongeluk te veel gaat behandelen – een probleem dat vaak optreedt wanneer je moet wachten tot een trage oven klaar is.
Het ‘smart’ in Smart Fab
Een fabriek zonder gegevens is gewoon een werkplaats. Wij zorgen ervoor dat deze heaters worden bediend door PLC-bestuurbare apparaten. Op deze manier krijg je een logboek van de exacte hoeveelheid energie die elke sensor krijgt.
Geen handmatig instellen meer – het werkt gewoon. Als je de productie versnelt, hoef je alleen maar het vermogen aan te passen om de temperatuur constant te houden.
Problemen in de praktijk (en hoe ze op te lossen)
Houd er rekening mee dat hoogdichte infraroodsystemen veel warmte produceren. Als je de koelfans en koellichamen niet goed instelt, kan dat schade veroorzaken aan de elektronica in de buurt.
Er is ook het probleem van ‘lekken’. Je hebt bescherming nodig die geschikt is voor een schone omgeving, zodat het infraroodlicht geen invloed heeft op andere optische sensoren.
Een paar tips: gebruik lampen met kwartsomhullingen, zodat je de wafer niet besmet. Verbind alles ook met een PID-regelaar. Dat is de enige manier om de benodigde nauwkeurigheid te bereiken.