Stop met het verspillen van energie: een betere manier om wafers op te warmen Als je ooit wafers hebt opgewarmd in een glovebox, weet je wat voor frustratie dat met zich meebrengt. Je stuurt energie naar de IR-lampen, maar de helft van die energie wordt gewoon weerkaatst tegen de wanden van de kamer. Dat is verspilling. Je betaalt dus voor stroom die zelfs niet het substraat bereikt. We hebben een manier gevonden om dit te voorkomen. In plaats van de hitte te laten verspreiden, hebben we gouden reflectoren in het verwarmingselement geplaatst. Waarom goud? Het gaat niet om het uiterlijk. Goud is uitstekend in het weerkaatsen van infraroodstraling – namelijk 98% daarvan. Door de achterkant van het apparaat te bedekken met hoogpuur goud, zorgen we er dus voor dat de fotonen rechtstreeks op de wafer terechtkomen. Hierdoor wordt de verspreide hitte omgezet in een gerichte straal. Je krijgt de gewenste oppervlaktetemperatuur zonder dat je de spanning hoeft te verhogen of een grotere lamp nodig hebt. Er is echter één nadeel: wanneer je zoveel energie gebruikt, wordt het intensiever. De kwartsomhulling van de lamp wordt dan meer belast. En als de reflectoren zelfs maar een paar millimeter van hun plek afwijken, kan dat leiden tot hete punten die de wafer kunnen beschadigen. Daarom besteden we veel tijd aan het perfectioneren van de specificaties – we willen zeker weten dat het lichtprecies op het midden van het substraat terechtkomt. Nog één tip: houd rekening met de koeling. Omdat de hitte niet meer in de achterkant van het apparaat terechtkomt, is de belasting aan de voorkant groter. Zorg er dus voor dat de ventilatie van de glovebox voldoende is, anders kunnen je apparaten beschadigen. In gebruik nemen Het goede nieuws is dat deze onderdelen gemakkelijk kunnen worden vervangen. Je hoeft het hele apparaat niet opnieuw te bouwen. We gebruiken ook verbindingen die bestand zijn tegen hoge temperaturen, zodat je je geen zorgen hoeft te maken over oxidatie van de contactpunten tijdens de langdurige verhittingsprocessen. Omdat je nu optimaal gebruik maakt van elke watt, kun je misschien zelfs een kleinere stroomvoorziening gebruiken. Of nog beter: je kunt de tijd die nodig is om de wafers op temperatuur te brengen, flink verkorten. Dat is gunstig voor je apparatuur en je kunt de wafers sneller op de gewenste temperatuur brengen.