Op de productielijn is het voldoende om tijdens het bakken van de photoresist een verschil van een halve graad te hebben, zodat de hele lading niet meer bruikbaar is. Er wordt gebruik gemaakt van kortegolflengte-IR-straling voor zowel het zachte als het harde bakken; dit werkt snel – maar alleen als de uitstoot van de lamp constant blijft en de omhulsing schoon blijft.
Daarom is de kwartsomhulling geen simpel deksel. Het maakt deel uit van het thermische systeem: het bepaalt de uitstraling, beschermt het element en voorkomt dat er deeltjes op de wafer terechtkomen.
Technisch gezien begint het met het materiaal en de golflengte. Hoge-puurheid gekleurd kwarts zorgt voor een hoge transmissie in het NIR-bereik dat wordt gebruikt door halogeen- en koolstof gebaseerde IR-bronnen. Hierdoor kan de wafer snel worden verhit, zonder dat er hete plekken ontstaan. De geometrie van de omhulling zorgt voor een gelijkmatige belichting over de hele wafer, zodat de temperatuurvariaties rond de ±0,1°C blijven.
De omhulling is ontworpen voor gebruik in schoonruimtes van klasse 1–100. De oppervlakken zijn bestand tegen slijtage en het ontwerp zorgt voor minimale uitstoot van gassen. In de praktijk betekent dit dat de bakprocessen herhaalbaar zijn, de controle over de belangrijkste dimensies consistent is en er minder herwerkingswerkzaamheden nodig zijn.
De voordelen van deze omhulling zijn de lange werktijd en de lagere energieverbruik. De omhulling beschermt het lamplichaam tegen chemische invloeden, waardoor er minder vervuiling optreedt en de levensduur van het element langer is. Er zijn minder lampwisselingen nodig en er is minder reserverecht. De thermische condities blijven stabiel, waardoor het energieverbruik lager blijft.
Er zijn een paar dingen die goed moeten worden gecontroleerd: de afmetingen en aansluitingen van de omhulling moeten overeenkomen met die van de lamp. Kwarts is sterk, maar breekbaar – gebruik dus schone gereedschappen, vermijd mechanische schokken en houd de montagetorque binnen de normen, zodat er geen spanningen ontstaan.
Controleer ook of de omhulling compatibel is met uw apparatuur, de aansluitingen en de luchtcirculatie. Dit zorgt ervoor dat de koeling op de juiste plek plaatsvindt en dat er geen hete plekken ontstaan.