Stop de vervuiling van de wafer al voordat deze begint: een betere manier om IR-lampen te gebruiken
In een halfgeleiderfabriek is het een nachtmerrie wanneer een lamp defect raakt. Het gaat niet alleen om de stilstand van de productie – ook de chaos die ontstaat is een groot probleem. Als de kwartstube tijdens een intensieve productieperiode barst, vallen er glasscherven en chemische stoffen op de wafer. In één ogenblik is je hele batch verwoest.
We hebben veel tijd besteed aan het bedenken van manieren om dit te voorkomen.
Het voorkomen van rommel
We gebruiken synthetisch kwarts van hoge zuiverheid, omdat dit materiaal de schokken van snelle opwarmings- en afkoelingprocessen kan weerstaan zonder te breken. Maar we stopten hier niet bij. We voegden ook beschermende hulzen toe rondom de lampen. Dit fungeert als een soort veiligheidsnet: als de filamenten breken of de tube beschadigt raakt, blijven de brokstukken binnenin de huls zitten. Ze belanden niet op de siliciumwafer.
Omgaan met de hitte
Het is juist wanneer de lampen tot het uiterste worden belast dat er problemen kunnen optreden. We hebben zorgvuldig de dikte van de wanden en de hoeveelheid gas bepaald, zodat de lamp structuurtechnisch nog steeds stevig blijft, zelfs wanneer er veel hitte wordt geproduceerd. We proberen geen groter vermogen uit de kwartstube te halen dan deze fysiek kan verdragen.
Een tip: controleer regelmatig je koelsysteem. Als de luchtcirculatie niet goed werkt, kunnen er hete plekken ontstaan. Dat is meestal waar de barsten beginnen.
De saaie (maar belangrijke) details
We gebruiken gestandaardiseerde aansluitingen, want losse verbindingen leiden tot problemen. Losse verbindingen veroorzaken elektrische spanningen, waardoor er plotselinge hittepieken ontstaan. Bovendien zorgen strakke verbindingen ervoor dat de tube niet heen en weer beweegt tijdens trillingen. Hierdoor worden er geen mechanische schadeën veroorzaakt.
Wanneer het tijd is om de lampen te vervangen, is dat een eenvoudig proces. Geen gedoe.
Alsjeblieft: controleer elke 500 uur of de aansluitingen nog steeds goed functioneren. Op deze manier worden kleine, onzichtbare barsten op tijd ontdekt, voordat ze tijdens de productie tot grote problemen leidden. Houd ook de spanning in de gaten – houd je aan de specificaties, zodat de lampen niet te vroeg kapotgaan.