Na linii produkcyjnej nagłe zmiany temperatury w komorze objawiają się szybko – jako nierównomierność grubości warstwy oraz spadek wydajności produkcji. Nie można tego naprawić po fakcie. Grzałka musi utrzymywać stałe warunki termiczne od pierwszej do ostatniej płytki.
Co jest istotne z technicznego punktu widzenia? Stworzyliśmy grzałkę typu CVD, wykorzystującą elementy halogenowe pracujące w zakresie krótkich fal podczerwieni, umieszczone za szybami z kwarcu. Ciepło trafia bezpośrednio na podłoże, a jednolitość temperatury na powierzchni płytki wynosi ±0,1°C. Profil termiczny powtarza się z cyklu na cykl, dzięki czemu warunki termiczne pozostają stałe.
Grzałka jest kompatybilna z pomieszczeniami klasy czystości 1–100. Wybrane materiały i konstrukcja sprawiają, że powstawanie cząstek jest jak najmniejsze. W praktyce oznacza to mniej zanieczyszczeń i mniej defektów.
Dlaczego grzałka sprawdza się w rzeczywistych procesach produkcyjnych? Ta grzałka jest niezbędna tam, gdzie decyduje się o integralności urządzeń. Podczas suszenia płytek i obróbki fotorezystu zapewnia ona stabilną i jednolitą temperaturę, co jest konieczne do prawidłowego procesu przygotowania płytek. Dzięki temu unika się usuwania rozpuszczalników w sposób, który mogłby uszkodzić powłokę na płytkach.
W procesie CVD grzałka stabilizuje temperaturę, dzięki czemu grubość i skład warstwy pozostają w granicach dopuszczalnych. To znaczy mniej odpadów i mniej konieczności ponownej obróbki. W rezultacie uzyskuje się lepszą kontrolę nad wymiarami ważnymi dla funkcjonowania urządzeń, wyższą wydajność produkcji oraz niższe zużycie energii dzięki efektywnym profilom temperaturowym.
Detale, które sprawiają, że grzałka dobrze funkcjonuje Instalacja grzałki zależy od właściwego ułożenia elementów termicznych oraz kierunku przepływu gazu. Jeśli te elementy nie będą poprawnie ustawione, pojawią się lokalne obszary o wysokiej temperaturze lub problemy z交叉污染em.
Grzałka działa najlepiej, gdy geometria komory oraz sposób przenoszenia płytek są dostosowane do charakterystyki promieniowania cieplnego. W przeciwnym razie pojawiają się różnice temperatur między brzegami a środkiem płytki.
Zaleca się przeprowadzenie krótkiego testu, aby sprawdzić temperaturę na całej powierzchni płytki i skorelować wartości temperatury z rzeczywistymi danymi pomiarowymi.