Na linii produkcyjnej jakość suszenia zależy od jakości procesu suszenia w stanie suchym. Ślady po wodzie, smugi oraz nadmiar wilgoci po praniu szybko wpływają negatywnie na jakość wyrobu – szczególnie przy grubości warstwy poniżej 28 nm. Standardowe grzałki powodują opóźnienia termiczne, a za każdym razem, gdy urządzenie reguluje swoją pracę, dochodzi do powstawania cząstek.
Szybkie suszenie przy użyciu lampy po procesie mycia jest kluczem do efektywnego i kontrolowanego procesu suszenia.
Co jest istotne pod względem technicznym
Lampa została zaprojektowana z wykorzystaniem halogenowych emiterów promieniowania podczerwonego krótkofalowego w otoczeniu kwarcowym. Reakcja lampy jest szybka, a jej spektrum pokrywa się z pasmem absorpcji wody. Jednorodność temperatury na powierzchni płytki wynosi ±0,1°C, co zapewnia integralność warstwy fotorezystu podczas kolejnych etapów obróbki.
Możliwe jest utrzymanie warunków typu Cleanroom Class 1–100, ponieważ strefa ogrzewania wykorzystuje materiały wolne od cząstek, a urządzenie znajduje się pod kapsułą z przepływem powietrza o strukturze laminarnej. Wydajność lampy pozostaje stabilna przez ponad 5 000 godzin, z odchyleniem poniżej 5%, a ustawienia pozostają takie same dzień po dniu, bez konieczności regulacji.
Dlaczego to jest korzystne w produkcji
Tuż po procesie mycia lampa suszy płytkę o rozmiarze 300 mm w ciągu sekund, a nie minut. To skraca czas przetwarzania i ułatwia kontrolę jakości produktu. Jednorodność temperatury zmniejsza zmienność w procesie nanoszenia warstwy fotorezystu, dzięki czemu zmniejsza się liczba defektów spowodowanych wahaniami temperatury.
Ponadto zmniejsza się zużycie energii, ponieważ lampa nagrzewa bezpośrednio warstwę fotorezystu, a nie całe urządzenie. Mniej konieczności poprawek, stabilna praca urządzenia i proces, który pozostaje w normach.
Co należy uwzględnić przy planowaniu
Lampa może być połączona z systemem SECS/GEM dla celów komunikacji z głównym urządzeniem, ale wymaga dedykowanego źródła zasilania oraz efektywnego systemu odprowadzania powietrza, aby temperatura pozostała stała. Należy zachować odległość 12 cali nad drogą ruchu płytki, aby zapewnić prawidłowy przepływ powietrza.
Proces konfiguracji lampy jest krótki, ale należy upewnić się, że prędkość transportu płytki odpowiada prędkości pracy lampy.