Na linii produkcyjnej nośnik po obróbce wilgotnościowej nie może przenosić wilgoci do stanowiska litograficznego. Pozostałości filmów i ślady wody nie tylko obniżają efektywność procesu, ale także zmuszają do ponownej obróbki oraz powodują problemy z termicznym zarządzaniem podczas kolejnego procesu suszenia. Suszarka musi zapewnić jednolite suszenie bez dodawania cząstek lub wywierania nadmiernego nacisku termicznego na nośnik.
Co jest istotne pod względem technicznym Stworzyliśmy suszarkę do czyszczenia nośników płytek w oparciu o ogrzewanie falami krótkowzrocznymi w zakresie podczerwieni (NIR). Te fale docierają bezpośrednio do wody i cienkich filmów, dzięki czemu nośnik kwarcowy nie jest przegrzewany. Dzięki temu uzyskujemy jednolite pole termiczne na całej powierzchni nośnika, co oznacza stabilność temperatury na poziomie ±0,1°C w stanie równowagi. Powtarzalność wynika z układu lamp oraz kontroli zamkniętego obwodu – każdy cykl suszenia daje ten sam profil temperatury, więc warunki suszenia nie zmieniają się ze względu na zmienne warunki środowiskowe. System może być używany w pomieszczeniach klasy 1–100, zapewnia zerową ilość cząstek podczas pracy, a droga odprowadzania gazów jest tak skonstruowana, aby uniknąć ponownego wnoszenia cząstek do pomieszczenia.
Dlaczego to jest ważne w produkcji W procesie produkcyjnym ta suszarka eliminuje niepewności związane z przenoszeniem nośnika z etapu czyszczenia na etap litografii. Fotoopornik jest wrażliwy na warunki termiczne, więc nawet małe obszary przegrzania mogą doprowadzić do zmian w grubości linii. Nasze jednolite pole termiczne zapewnia, że nośnik pozostaje w odpowiednich warunkach termicznych. Dzięki temu proces suszenia jest szybszy, zużycie gazu i energii jest mniejsze, a liczba odrzuconych nośników spada. Moduł został zaprojektowany tak, aby pracować przez 24 godziny dziennie – dzięki temu proces produkcji może mieć ciągłość bez konieczności interwencji awaryjnych.
Na co należy zwrócić uwagę Suszenie za pomocą fal NIR wymaga idealnej linii widzenia, dlatego geometryka nośnika oraz odległości pomiędzy elementami są istotne. Określamy odpowiednie odległości i orientację elementów, aby zapewnić jednolitość. Jeśli odstąpimy od tych wartości, pojawią się efekty „cieni”. Instalacja wymaga urządzeń elektrycznych i systemów odprowadzania gazów dostosowanych do warunków panujących w pomieszczeniach klasy czystości. Moduł lampy ma ograniczoną żywotność – dlatego konieczne jest planowanie ich wymiany w ramach konserwacji prewencyjnej, aby utrzymać pożądane parametry temperatury i jakość suszenia.