На площадке для литографии камера для обжига определяет температурные параметры, необходимые для удаления фотопленки. Даже небольшое отклонение на полградуса от установленного значения может привести к остаткам материала на поверхности или, что ещё хуже, к повреждению слоя под ним. Один бракованный кристалл может испортить всю партию продукции. Инфракрасное нагревание позволяет поддерживать нужный температурный профиль.
Что имеет значение с технической точки зрения? Мы используем излучатели коротковолнового инфракрасного света, чтобы направлять тепло непосредственно в слой фотопленки – это делается быстро, эффективно и предсказуемо. Равномерность температуры на поверхности кристалла составляет ±0,1°C в течение всего процесса. Конструкция излучателей не содержит кварца, поэтому не возникает частиц, что крайне важно для условий чистого цеха класса 1–100. Повторяемость процесса составляет ≤0,2% от цикла к циклу, независимо от того, происходит ли процедура после мягкой или жесткой обработки, или после эчинга.
Почему этот метод подходит для производства? В производственных условиях процедура обжига должна соответствовать темпам работы линии без образования брака. Точный контроль температуры позволяет сократить время обжига и потребление энергии. В результате уменьшается количество остатков материала, снижается доля дефектов, а контроль толщины слоя остается стабильным после эчинга. Система может быть интегрирована в существующие устройства без необходимости изменения тепловых интерфейсов, что позволяет сократить время выполнения процесса без значительных инвестиций.
На что следует обратить внимание? Инфракрасное обжиг возможно только при прямом видимом свете, поэтому различия в эмиссии на обратной стороне кристалла и в металлизированных слоях могут помешать процессу поглощения тепла. Мы регулируем размеры излучателей и спектр излучения, чтобы снизить эти различия. Но расположение камеры все равно должно обеспечивать чистый просвет кристаллу. Потребуется небольшой период на настройку процесса, но после этого процесс будет контролироваться стабильно.