На производственной площадке носитель, прошедший процедуру очистки с использованием влажного метода, не может пронести влагу в зону литографии. Остаточные слои пленки и следы воды снижают качество продукции, требуют повторной обработки и увеличивают нагрузку на систему отопления при последующей обработке. Сушильный аппарат должен обеспечить единообразную степень высыхания без появления частиц и без избыточной нагрузки на носитель.
Что важно внутри устройства
Мы разработали сушильный аппарат для очистки подложек с использованием тепла коротковолнового инфракрасного излучения. Это излучение проникает прямо в воду и тонкие слои пленки, что позволяет высушивать подложку без перегрева кварцевого носителя. Это обеспечивает единообразное тепловое поле на всей поверхности подложки; стабильность температуры составляет ±0,1°C в критической зоне. Повторяемость процесса обеспечивается за счет использования специальных ламп и системы закрытого цикла управления: каждый цикл приносит одинаковый результат, что исключает изменения условий высыхания. Устройство можно использовать в чистых комнатах класса 1–100; оно не создает частиц во время работы, а система вентиляции предотвращает их повторное попадание внутрь устройства.
Почему это важно на производстве
На производстве этот сушильный аппарат устраняет неопределенность при переходе от процедуры очистки к литографии. Фоторезист чувствителен к температурным условиям, поэтому даже небольшие точки высокой температуры могут привести к изменениям ширины линий на поверхности подложки. Единообразное тепловое поле помогает сохранять подложку в оптимальных температурных условиях. Это позволяет сократить время высыхания, снизить потребление газа и энергии, а также уменьшить количество бракованных подложек из-за следов воды. Устройство рассчитано на 24-часовую работу без сбоев; его надежность обеспечивается стабильной температурой и качественными компонентами. Это позволяет поддерживать стабильную работу производства с минимальным количеством неплановых остановок.
Что нужно учитывать
Процесс высыхания с использованием инфракрасного излучения возможен только при прямом взаимодействии излучения с поверхностью подложки. Поэтому важно соблюдать определенные параметры расстояния и ориентации подложки. Если эти параметры нарушены, возникают тени на поверхности подложки. Для правильной установки необходимы электропитание и система вентиляции, соответствующие стандартам чистых комнат. Кроме того, у ламп есть ограниченный срок службы; поэтому необходимо планировать их замену в рамках профилактического обслуживания, чтобы поддерживать стабильность температуры и качества подложек.