ในห้องผลิต ความเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิภายในห้องจะส่งผลให้ความหนาของชิ้นส่วนไม่สม่ำเสมอ และทำให้ประสิทธิภาพในการผลิตลดลง ซึ่งไม่สามารถแก้ไขได้หลังจากนั้น ดังนั้นเครื่องทำความร้อนจึงต้องรักษาสภาพอุณหภูมิให้คงที่ตั้งแต่ชิ้นส่วนแรกจนถึงชิ้นส่วนสุดท้าย
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค
เราออกแบบเครื่องทำความร้อนแบบ CVD โดยใช้องค์ประกอบแสงอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้นที่อยู่ภายในหน้าต่างควอตซ์ ความร้อนจะถูกส่งตรงไปยังวัสดุที่ใช้ในการผลิต ทำให้ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิอยู่ในช่วง ±0.1°C โดยโปรไฟล์อุณหภูมิจะคงที่ในแต่ละรอบการผลิต ดังนั้นค่าอุณหภูมิจึงคงที่ตลอดเวลา
เครื่องนี้สามารถใช้งานได้ในห้องสะอาดระดับ Class 1–100 นอกจากนี้ วัสดุและโครงสร้างของเครื่องก็ถูกออกแบบมาเพื่อลดการเกิดอนุภาคสิ่งสกปรกให้น้อยที่สุดเท่าที่จะเป็นไปได้ ซึ่งหมายความว่าจะมีการเกิดความเสียหายหรือข้อบกพร่องน้อยลง
เหตุใดเครื่องนี้จึงมีประสิทธิภาพในกระบวนการผลิตจริง
เครื่องทำความร้อนนี้มีประสิทธิภาพมากในขั้นตอนที่มีความสำคัญต่อคุณภาพของชิ้นส่วน เช่น ในขั้นตอนการทำให้วัสดุแห้งหรือการประมวลผลฟิล์มโฟโตรีซิสต์ เครื่องนี้จะช่วยให้มีความร้อนที่สม่ำเสมอ ซึ่งช่วยควบคุมการกำจัดตัวทำละลายโดยไม่ทำให้ฟิล์มเสียหาย
ในกระบวนการ CVD เครื่องนี้จะช่วยรักษาอุณหภูมิให้คงที่ ทำให้ความหนาและองค์ประกอบของฟิล์มอยู่ในช่วงที่ควบคุมได้ ส่งผลให้มีของเสียน้อยลง และต้องมีการปรับแต่งน้อยลง ดังนั้นจึงสามารถควบคุมขนาดของชิ้นส่วนได้อย่างแม่นยำ มีประสิทธิภาพในการผลิตสูงขึ้น และใช้พลังงานน้อยลงด้วย
รายละเอียดที่ทำให้เครื่องนี้ทำงานได้อย่างมีประสิทธิภาพ
การติดตั้งเครื่องนี้ขึ้นอยู่กับจุดต่อทางด้านความร้อนและทิศทางการไหลของก๊าซ หากมีข้อผิดพลาดในส่วนนี้ ก็จะเกิดจุดร้อนหรือการปนเปื้อนขึ้นได้
เครื่องนี้จะทำงานได้ดีที่สุดเมื่อรูปร่างของห้องผลิตและตำแหน่งของชิ้นส่วนสอดคล้องกับรูปแบบการแผ่รังสี หากไม่เป็นเช่นนั้น ก็จะเกิดความไม่สม่ำเสมอในอุณหภูมิขึ้น
ควรมีการทดสอบการทำงานในช่วงเวลาสั้นๆ เพื่อวัดอุณหภูมิทั่วทั้งพื้นผิวของชิ้นส่วน และปรับค่าตั้งค่าให้ตรงกับค่าที่วัดได้จริง