เครื่องทำความสะอาดและอบแห้งถาดวาเฟอร์
ในห้องผลิตชิป ตัวพาหะที่ผ่านการทำความสะอาดด้วยวิธีการใช้ความร้อนจะไม่สามารถนำความชื้นเข้าไปในห้องการพิมพ์ชิปได้...
เครื่องอบแบบ FOUP (Front Opening Unified Pod)
ในห้องผลิตชิปดิจิทัลนั้น ขั้นตอนการทำงานก็คือ โฟอูพีจะถูกนำเข้ามาในสภาพเปียกหลังจากการทำความสะอาด และเวลาก็เริ่มเดินหน้าไปอย่างรวดเร็ว...