ในห้องผลิตชิป ตัวพาหะที่ผ่านการทำความสะอาดด้วยวิธีการใช้ความร้อนจะไม่สามารถนำความชื้นเข้าไปในห้องการพิมพ์ชิปได้ ฟิล์มที่เหลืออยู่และรอยน้ำจะส่งผลเสียต่อประสิทธิภาพในการผลิต นอกจากนี้ยังทำให้ต้องมีการทำงานซ้ำ และส่งผลกระทบต่อความสามารถในการใช้ความร้อนในขั้นตอนการพิมพ์ชิปด้วย ดังนั้นเครื่องอบจึงต้องสามารถทำให้วัสดุแห้งได้อย่างสม่ำเสมอ โดยไม่ก่อให้เกิดอนุภาคหรือสร้างแรงกดดันทางความร้อนให้กับตัวพาหะ
สิ่งที่สำคัญภายในเครื่อง เราออกแบบเครื่องอบสำหรับทำความสะอาดตัวพาหะโดยใช้ความร้อนแบบอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้น (NIR) ความร้อนนี้สามารถซึมเข้าไปในน้ำและฟิล์มบางๆ ได้โดยตรง ทำให้วัสดุแห้งได้โดยไม่ทำให้ตัวพาหะร้อนเกินไป สิ่งนี้ช่วยให้เกิดสภาพความร้อนที่สม่ำเสมอทั่วพื้นผิวของวัสดุ ซึ่งหมายถึงความแม่นยำในการควบคุมอุณหภูมิที่ ±0.1°C ในบริเวณที่สำคัญ ความสามารถในการทำงานซ้ำได้นั้นมาจากการออกแบบหลอดไฟและระบบควบคุมแบบลูปปิด ทำให้แต่ละรอบมีอุณหภูมิที่สม่ำเสมอ ดังนั้นเงื่อนไขการอบจึงไม่เปลี่ยนแปลงเนื่องจากความแปรปรวนในการอบ เครื่องนี้สามารถทำงานได้ในห้องที่มีความสะอาดระดับ Class 1–100 และมีการออกแบบมาให้ไม่มีอนุภาคเกิดขึ้นระหว่างการทำงาน นอกจากนี้ ระบบระบายอากาศก็ถูกออกแบบมาเพื่อป้องกันไม่ให้อนุภาคกลับเข้ามาอีก
เหตุใดสิ่งนี้จึงสำคัญในการผลิต ในกระบวนการผลิต เครื่องอบนี้ช่วยลดความไม่แน่นอนในการถ่ายโอนวัสดุจากขั้นตอนการทำความสะอาดไปยังขั้นตอนการพิมพ์ชิป โฟโตรีซิสต์มีความไวต่อประวัติความร้อน ดังนั้นแม้แต่จุดร้อนเล็กๆ ก็อาจส่งผลให้เกิดความไม่สม่ำเสมอในความหนาของเส้นลายได้ สภาพความร้อนที่สม่ำเสมอนี้ช่วยให้วัสดุแห้งได้เร็วขึ้น ลดการใช้ก๊าซและพลังงาน และลดจำนวนวัสดุที่เสียหายเนื่องจากรอยน้ำ โมดูลนี้ถูกออกแบบมาให้สามารถทำงานได้ตลอด 24 ชั่วโมง ด้วยการควบคุมอุณหภูมิที่แม่นยำ และหลอดไฟที่มีอายุการใช้งานที่แน่นอน ดังนั้นจึงสามารถรักษาประสิทธิภาพในการผลิตได้โดยไม่มีปัญหา
สิ่งที่ควรจดจำ การอบด้วยความร้อนแบบ NIR นั้นต้องมีมุมมองที่ชัดเจน ดังนั้นรูปร่างของตัวพาหะและระยะห่างระหว่างตัวพาหะจึงมีความสำคัญ เรากำหนดระยะห่างและตำแหน่งของตัวพาหะเพื่อให้เกิดความสม่ำเสมอ หากระยะห่างไม่เหมาะสม ก็จะเกิดเงาขึ้น นอกจากนี้ การติดตั้งก็ต้องใช้ระบบไฟฟ้าและระบบระบายอากาศที่มีความสะอาด และหลอดไฟก็มีอายุการใช้งานที่จำกัด ดังนั้นจึงต้องมีการเปลี่ยนหลอดไฟเป็นประจำเพื่อรักษาประสิทธิภาพและความแม่นยำของอุณหภูมิไว้