Waferlerinizi en iyi şekilde kurutmak için…
Waferleri kuruturken dengeli bir yaklaşım gereklidir. Çözücüleri uzaklaştırmak veya doğru kimyasal reaksiyonu tetiklemek gerekir; ancak sıcaklığı aşırı artırmamak gerekir, aksi takdirde yüzey zarar görebilir.
İşte burada yansıtıcılar devreye giriyor. Biz altın kaplamalı yansıtıcılar kullanıyoruz; çünkü IR enerjisinin makinenin gövdesine sızmasını ve boşa gitmesini istemiyoruz.
Neden altın?
Çoğu kişi alüminyum kullanmayı tercih eder; ancak bu malzeme uzun dalga boyundaki IR ışınları için yeterli değildir. Fazla ısı geçişine izin verir. Altın ise farklıdır. Vakum altında depolanan altın tabakası sayesinde neredeyse tüm IR radyasyonunu tekrar orijinal yerine geri gönderebiliriz. Böylece ısı daha etkili bir şekilde kullanılır. Temelde, her watt başına daha fazla enerji elde edilir.
Şekil çok önemlidir
Yansıtıcının şekli, ısının wafer üzerine nasıl düştüğünü belirler. Parabolik şekil ışını sıkıştırırken, eliptik şekil ise belirli bir noktaya ısı yollar. Eğer ölçüler doğru olmazsa, sorunlar ortaya çıkar. Wafer üzerinde “sıcak noktalar” oluşur; bu da eşit olmayan kuruma anlamına gelir. Hatta daha kötüsü, yüzey bükülebilir. Bu enerjinin sızmasını engellemek için lambanın optik ekseniyle tam olarak hizalanmış olmasına dikkat edilmelidir. Burada hassasiyet çok önemlidir.
Sorunlar
Altın ısı için mükemmel olsa da yumuşak bir malzemedir. Sert temizlik işlemlerine dayanamaz. Eğer ekibiniz zorlayıcı kimyasallar veya aşındırıcı malzemeler kullanıyorsa, altın tabakası hasar görebilir. Bu durumda verimlilik ciddi şekilde düşer. Bu parçalara dikkatli davranmak gerekir. Koruyucu kuvars kalkanları genellikle en iyi çözümdür.
Kurulum için hızlı bir ipucu
Bu sistemleri bağlarken, daha yüksek verimliliğin waferin daha fazla enerji emmesi anlamına geldiğini unutmayın. Tüm waferlerin aşırı derecede kurumasını önlemek için gücü azaltmanız veya konveyörü hızlandırmanız gerekebilir. Ayrıca koruma önlemlerini de unutmayın; diğer ekipmanların bu enerjiyi emmesini istemezsiniz.