Üretim alanında, yıkama işleminin kalitesi, kurutma işleminin kalitesine bağlıdır. Yıkamadan sonra kalan su izleri ve nem, verimi hızla düşürür; özellikle de 28nm’in altındaki boyutlarda bu durum daha belirgin olur. Standart ısıtıcılar mı? Bunlarda ısı transferinde gecikmeler olur ve her seferinde parçacıkların oluşmasına neden olur. Hızlı bir şekilde kurutma yapabilen lambalar sayesinde bu sorunu hızlı ve kontrollü bir şekilde çözebiliriz.
Önemli olan şeyler
Lambayı, kuvars kabuğu içinde yer alan kısa dalga boylu kızılötesi halojen ışık kaynaklarından oluşturduk. Tepki süresi çok hızlıdır ve spektrum, suyun emilim bandı üzerinde yer alır. Yarıçapın her noktasında termal tutarlılık ±0,1°C civarında olur; bu da yarıçapın yumuşak ve sert pişirme adımlarından sonra bile fotorezistin bütünlüğünü korur. Temiz oda sınıfı 1–100 elde edilebilir; çünkü ısıtma bölgesinde parçacık içermeyen malzemeler kullanılır ve cihaz, laminar akışlı bir havalandırma sistemi altında yer alır. 5.000 saatten fazla süre boyunca çıkış değerleri %5’ten az sapma gösterir ve ayarlar günler boyunca tekrarlanabilir.
Üretimdeki avantajları
Yıkamadan hemen sonra lamba, 300mm’lik yarıçapları saniyeler içinde kurutur; bu da üretim süresini kısaltır ve ürün kalitesini artırır. Termal tekrarlanabilirlik, fotorezist işlemindeki değişiklikleri azaltır; böylece sıcaklık dalgalanmalarından kaynaklanan hatalar azalır. Ayrıca, SWIR teknolojisi sayesinde ısı doğrudan filmi ısıtarak tüm cihazı ısıtmaktan kaçınılmış olur. Daha az yeniden işleme gerekiyor, çalışma süresi stabil kalıyor ve işlem parametreleri standartlarda kalıyor.
Planlamanız gerekenler
Lamba, ana bilgisayarla iletişim kurmak için SECS/GEM standardını destekler; ancak sıcaklığı sabit tutabilmek için özel bir güç kaynağı ve etkili bir havalandırma sistemi gereklidir. Laminar akışı korumak için yarıçapın üzerinde 12 inçlik bir boşluk bırakılmalıdır. Kurulum süresi kısadır; ancak yıkama ve kurutma işlemlerinin hızının lambanın taşıma hızına uygun olmasına dikkat edilmelidir.