Durulama lambasından sonraki hızlı kuruyan wafer
Üretim alanında, yıkama işleminin kalitesi, kurutma işleminin kalitesine bağlıdır. Yıkamadan sonra kalan su izleri ve nem, verimi hızla düşürür;...
Wafer taşıyıcı temizleme kurutucusu
Üretim alanında, temizleme işleminden çıkan nemli taşıyıcılar, litografi bölümüne nem taşıyamaz. Kalan filmler ve su izleri sadece verimi düşürmekle...
Wafer oksidasyon ısıtma elemanı
Üretim alanında, oksidasyon sırasında meydana gelen termal değişimler sadece grafiklerdeki sayılar olarak görünmez; bunlar üretim verimliliğini ciddi...