Üretim alanında, oksidasyon sırasında meydana gelen termal değişimler sadece grafiklerdeki sayılar olarak görünmez; bunlar üretim verimliliğini ciddi şekilde etkiler. Tahtadaki 2°C’lik bir ısınma, eşik voltajlarını bozar ve haftalar süren dikkatli ayarlamaların sonucunu yok eder. Biz de bu tür değişkenleri ortadan kaldırmak için yonga oksidasyonu için kullanılan ısıtıcı elemanları özel olarak tasarladık.
Teknik açıdan önemli olanlar Bu eleman kuvars tabanlıdır ve hızlı tepki verip stabil kalacak şekilde ayarlanmıştır. Tahta üzerindeki sıcaklık farkı ±0,1°C civarındadır ve döngüden döngüye tekrarlanabilirlik ise 0,2°C’nin altındadır. Termal bütçenize uygun olacak şekilde kısa dalga veya orta dalga profilleri seçebilirsiniz: İnce kapılarda hızlı ısınma, kalın oksit tabakaları oluşturulurken ise kontrollü ısınma uygulanır.
Kuvars gövdesi tamamen temiz kalır; parçacık üretimi olmaz ve düşük seviyede gaz salınımı gerçekleşir. Bu sayede sınıf 1–100 temiz oda koşullarında kullanılabilir. Güç miktarı, odanın geometrisine göre belirlenir; standart voltaj seçenekleri ve kontrol sinyallerinin bozulmamasını sağlayan terminal tasarımı bulunur.
Neden gerçek oksidasyon/difüzyon işlemlerinde başarılı olur? Oksidasyon ve difüzyon fırınlarında, ısıtıcı daha hızlı bir şekilde belirlenen sıcaklığa ulaşır; böylece film kalınlığını kontrol altında tutarak bekleme süresini kısaltabilirsiniz. Bu da daha düşük CD değerleri, daha az foto direnç sorunu ve stres kaynaklı kusurlardan dolayı oluşan atıkların azalmasına yol açar.
Enerji tüketimi azalır çünkü eleman talep üzerine ısınır ve minimum aşırı ısınma ile sabit kalır. Güvenilirlik ise çalışma süresiyle gösterilir: Üniteler 5.000 saatten fazla çalışmış olup, çıkış verimliliğinde %5’ten az bir değişiklik olmuştur. Böylece planlı bakım kolaylaşır ve plansız duruşlar nadir olur.
Başlangıçta dikkat edilmesi gerekenler Montaj işlemi, tahta ve fırın arasındaki mesafelere bağlıdır. Eğer montaj doğru yapılmazsa, sıcaklık farkları oluşur. Eleman standart fırın arayüzleriyle çalışır, ancak tahta malzemesi ve yük konfigürasyonu için termal bağlantının doğru olup olmadığını kontrol etmek gerekir.
Reçeteyi sabitlemek için kısa bir test süreci ve haritalama işlemi yapılmalıdır. Başlangıçta biraz PID ayarı gerekebilir; ancak bir kez ayarlandığında işlem sabit kalır.