Üretim alanında, temizleme işleminden çıkan nemli taşıyıcılar, litografi bölümüne nem taşıyamaz. Kalan filmler ve su izleri sadece verimi düşürmekle kalmaz; aynı zamanda yeniden işlem yapılmasına da neden olur ve bir sonraki pişirme işleminde termal yükü artırır. Kurutucu, parçacık eklemeksizin ve taşıyıcıya termal stres uygulamadan istikrarlı bir kurutma sağlamalıdır.
Arka plandaki önemli faktörler
Wafer taşıyıcılarını temizlemek için kullanılan bu kurutucu, kısa dalga boylu kızılötesi ısıtma teknolojisine dayanmaktadır. Kızılötesi ışınlar doğrudan suyun ve ince filmlerin içine nüfuz eder; böylece kuvars taşıyıcının aşırı ısınması engellenir. Bu sayede yükün bulunduğu alanda milimetre altı düzeyinde bir termal alan elde edilir ve bu da kritik bölgede ±0,1°C’lik bir istikrar sağlar. Tekrarlanabilirlik ise lamba dizisi ve kapalı döngü kontrolü sayesinde sağlanır; her döngüde aynı sıcaklık profili elde edilir, böylece kurutma işlemindeki değişiklikler nedeniyle yumuşak veya sert pişirme koşulları değişmez. Sistem, 1–100 sınıfı temiz odalarda çalışır; çalışma sırasında hiçbir parçacık üretilmez ve egzoz kanalları da parçacıkların tekrar ortama karışmasını önleyecek şekilde tasarlanmıştır.
Üretimde bu özelliğin önemi
Üretimde bu kurutucu, temizleme işleminden litografiye geçiş sırasındaki belirsizlikleri ortadan kaldırır. Fotorezistler termal etkilere karşı hassastır; bu yüzden küçük ısı noktaları bile çizgi genişliklerinde değişikliklere yol açabilir. Bizim sunduğumuz eşit termal alan sayesinde taşıyıcı termal etkilerden korunur. Böylece daha kısa kurutma süreleri, daha az gaz ve enerji tüketimi ve su izleri nedeniyle daha az atık elde edilir. Bu modül 24 saat boyunca güvenilir bir şekilde çalışacak şekilde tasarlanmıştır; böylece planlanmayan müdahalelerin azalmasıyla üretim süreci kesintisiz devam eder.
Dikkat edilmesi gerekenler
Kızılötesi kurutma işlemi, görüş hattı temelinde gerçekleşir; bu yüzden taşıyıcının geometrisi ve yerleşimi önemlidir. Eşitlik sağlamak için montaj aralıkları ve yönlendirmeler belirlenmiştir; bu aralıklardan sapılırsa gölgeler oluşur. Montaj için temiz oda standardında elektrik ve egzoz sistemleri gereklidir. Ayrıca lamba modülünün de bir ömrü vardır; parçacık performansını ve sıcaklık istikrarını korumak için periyodik olarak değiştirilmesi gerekir.