На виробничій лінії якість промивання залежить від якості сушіння. Сліди води, плями та залишки вологи після промивання швидко погіршують якість продукції – особливо при товщині плівки менше 28 нм. Стандартні нагрівальні установки призводять до затримки в нагріванні, а кожен раз, коли установка піднімається чи опускається, це сприяє утворенню частинок.
Швидкий сушар для післяпромивного оброблення дозволяє ефективно та контрольовано вирішити цю проблему.
Що є важливим для ефективної роботи Ми створили сушар на основі галогенових випромінювачів короткохвильового інфрачервоного світла, розташованих у кварцовому корпусі. Це забезпечує швидку реакцію, а спектр випромінювання збігається з смугою поглинання води. Температурна однорідність на поверхні плівки становить ±0,1°C, що захищає якість фотополімерної плівки під час подальших процедур обробки.
Створення чистої зони класу 1–100 можливе завдяки використанню матеріалів без частинок у нагрівальній зоні, а також завдяки наявності системи ламінарного потоку повітря. Режим роботи залишається стабільним протягом понад 5 000 годин, з дефлекцією менше 5%. Налаштування пристрою не потребують корекції протягом усього часу роботи.
Чому це важливо для виробництва Відразу після промивання сушар може висушити 300-міліметрову плівку за секунди, а не хвилини. Це скорочує час виробничого циклу та полегшує контроль якості продукції. Температурна стабільність зменшує варіації під час обробки фотополімерної плівки, що зменшує кількість дефектів, пов’язаних із змінами температури.
Крім того, споживання енергії зменшується, оскільки SWIR-випромінювання нагріває саму плівку, а не всю установку. Це зменшує кількість переробок, забезпечує стабільну роботу та дозволяє підтримувати параметри процесу в заданих межах.
Що потрібно врахувати під час планування Сушар може бути підключений до системи SECS/GEM для комунікації з контролером, але йому потрібне окреме джерело живлення та ефективна система відведення повітря для підтримки стабільної температури. Необхідно залишити відстань 12 дюймів над поверхнею плівки для забезпечення ламінарного потоку повітря.
Процес налаштування є коротким, але необхідно переконатися, що швидкість передачі плівки від пристрою для промивання до сушара відповідає швидкості роботи сушара.