На виробничій лінії носій, який пройшов процедуру очищення за допомогою сушарки, не може привносити вологу до зони літографії. Залишкові шари та сліди води не лише знижують ефективність процесу, але й змушують проводити повторну обробку та обмежують можливості термічної обробки на наступному етапі. Сушарка мусить забезпечувати однорідну сушку, не додаючи частинок та не створюючи надмірного теплового навантаження на носій.
Що є важливим у цьому процесі
Ми розробили сушарку для очищення носіїв, використовуючи короткочастотне інфрачервоне опромінення. Це дозволяє ефективно сушити носій, не перегріваючи при цьому кварцовий носій. У результаті формується однорідне температурне поле на всій площі носія – це забезпечує стабільність температури на рівні ±0,1°C у критичній зоні. Повторюваність результатів забезпечується завдяки спеціальній конструкції ламп та системі контролю; кожен цикл сушіння забезпечує однаковий профіль температури. Система може функціонувати у чистих приміщеннях класу 1–100; під час роботи не утворюється жодних частинок, а система відведення повітря запобігає їх повторному потраплянню в систему.
Чому це важливо на виробництві
На виробництві ця сушарка усуває невизначеності під час переходу від процедури очищення до літографії. Фоторезист є чутливим до температурних умов, тож навіть невеликі „гарячі точки“ можуть призводити до змін розмірів ліній на поверхні носія. Однорідне температурне поле дозволяє уникнути таких проблем. Це дозволяє скоротити час сушіння, зменшити споживання газу та енергії, а також зменшити кількість непридатних носіїв через наявність слідів води. Модуль розроблений для 24-годинної роботи – передбачена стабільна температура та надійні лампи. Це дозволяє забезпечити безперервну роботу виробничої лінії з мінімумом непланових перерв.
Що потрібно мати на увазі
Сушіння за допомогою інфрачервоного опромінення вимагає правильного розташування носія та відстаней між елементами конструкції. Ми визначаємо оптимальні відстані та орієнтацію елементів для забезпечення однорідності. Якщо ці вимоги не дотримуватися, можуть виникнути проблеми. Для роботи сушарки необхідна електроенергія та система відведення повітря, які відповідають стандартам чистих приміщень. Крім того, лампи мають обмежений термін служби – необхідно планувати їх заміну як частину профілактичного обслуговування, щоб забезпечити стабільність параметрів температури та якості продукції.