لیتھوگرافی کے عمل میں، اشنگ چیمبر، فوٹوریزسٹ کو ختم کرنے کے لئے درکار حرارتی سطح کو کنٹرول کرتا ہے۔ اگر درجہ حرارت میں آدھے ڈگری کی بھی تبدیلی ہو جائے، تو اس کے نتیجے میں باقیات پیدا ہو جاتی ہیں، یا پھر نیچے موجود پرت کو نقصان پہنچ سکتا ہے۔ ایک ہی خراب ویفر سے پورا عمل خراب ہو سکتا ہے۔ انفراریڈ حرارت، اس حرارتی سطح کو کنٹرول کرنے میں مددگار ثابت ہوتی ہے۔
تکنیکی اعتبار سے کیا اہم ہے؟
ہم شارٹ-ویو انفراریڈ ایمیٹر استعمال کرتے ہیں، تاکہ حرارت براہِ راست فوٹوریزسٹ پر پڑے۔ اس طریقے سے حرارت کو تیزی سے، براہِ راست، اور درست طریقے سے منتقل کیا جاتا ہے۔ پورے عمل کے دوران ویفر کی درجہ حرارت ±0.1°C کے اندر رہتی ہے۔ ایمیٹر کی ساخت میں کوارٹز استعمال نہیں کیا جاتا، اس لئے کوئی ذرات پیدا نہیں ہوتے، جو کہ کلین روم کلاس 1–100 کے لئے بہت ضروری ہے۔ ہر بار عمل کرنے پر درجہ حرارت میں ≤0.2% کی تغیرات ہوتی ہیں، چاہے یہ عمل سافٹ بیک، ہارڈ بیک، یا ایچ کے بعد ہی کیوں نہ ہو۔
پروڈکشن میں اس کی کیا اہمیت ہے؟
پروڈکشن میں، اشنگ کا عمل لائن کی رفتار کے ساتھ ہی ہونا چاہیے، تاکہ کوئی فضول مواد پیدا نہ ہو۔ سخت حرارتی کنٹرول سے اشنگ کا عمل تیز ہو جاتا ہے، وقت کم ہو جاتا ہے، اور توانائی کی کھپت بھی کم ہو جاتی ہے۔ اس کے نتیجے میں باقیات کم ہو جاتی ہیں، نقائص کی شرح کم ہو جاتی ہے، اور ایچ کے بعد بھی لائن کی چوڑائی مستقل رہتی ہے۔ یہ سسٹم موجودہ ٹریکس اور فرنیچرز کے ساتھ ہی کام کرتا ہے، لہذا کسی خاص سرمایہ کاری کی ضرورت نہیں ہے۔
کن چیزوں پر توجہ دینی چاہیے؟
انفراریڈ اشنگ میں، ویفر کے پچھلے حصے اور میٹالائزیشن پرتوں کی وجہ سے ایمیٹر کی کارکردگی میں فرق پڑ سکتا ہے۔ ہم ایمیٹر کے سائز کو ایسے منتخب کرتے ہیں کہ کارکردگی یکساں رہے، لیکن چیمبر کی ساخت کو ایسا ہی رکھنا ضروری ہے کہ ویفر کو صاف، بغیر کسی رکاوٹ کے نظر آئے۔ عمل کو درست کرنے کے لئے تھوڑا وقت درکار ہے؛ ایک بار جب یہ درست ہو جائے، تو پورا عمل کنٹرول میں رہتا ہے۔