Hãy ngừng lãng phí năng lượng: Cách tốt hơn để làm nóng các tấm wafer Nếu bạn từng sử dụng phương pháp làm nóng wafer bên trong buồng kiểm soát môi trường, chắc hẳn bạn đã hiểu rõ sự phiền toái mà nó gây ra. Bạn tiêu tốn nhiều năng lượng vào các bóng đèn hồng ngoại, nhưng một nửa số năng lượng đó lại bị phản xạ lại khỏi các bức tường của buồng kiểm soát. Đó là sự lãng phí. Bạn phải trả tiền cho điện năng mà thực chất không được sử dụng để làm nóng các tấm wafer. Chúng tôi đã tìm ra cách để ngăn chặn tình trạng này. Thay vì để nhiệt lượng bị phân tán, chúng tôi sử dụng các tấm phản xạ được phủ lớp vàng ngay trong bộ phận sưởi. Tại sao chọn vàng? Không phải vì vàng có giá trị cao. Vàng có khả năng phản xạ bức xạ hồng ngoại cực kỳ tốt – lên đến 98%. Bằng cách phủ lớp vàng lên bề mặt phía sau bộ phận sưởi, chúng tôi giúp các photon quay trở lại và tập trung vào tấm wafer. Nhờ đó, nhiệt lượng được tập trung vào một điểm cụ thể, giúp bạn đạt được nhiệt độ mong muốn mà không cần tăng điện áp hay sử dụng bóng đèn lớn hơn. Nhưng vẫn còn một vấn đề nữa: Khi năng lượng được tập trung vào một điểm, nhiệt độ sẽ tăng lên rất cao. Lớp thủy tinh bao quanh bóng đèn cũng sẽ chịu áp lực lớn hơn. Nếu các tấm phản xạ lệch đi vài milimet, bạn sẽ gặp phải những điểm nóng có thể làm hỏng tấm wafer. Chính vì vậy, chúng tôi dành rất nhiều thời gian để đảm bảo rằng tia nhiệt luôn tập trung vào chính giữa tấm wafer. Một điều nữa cần lưu ý: Hãy chú ý đến hệ thống làm mát. Vì nhiệt lượng không còn lan tỏa sang phía sau nữa, nên áp lực lên phía trước sẽ tăng lên. Hãy đảm bảo rằng hệ thống thông gió trong buồng kiểm soát môi trường hoạt động tốt, nếu không các thiết bị của bạn có thể bị hư hỏng. Cách sử dụng Điểm tốt nhất là những bộ phận này có thể thay thế ngay lập tức. Bạn không cần phải tái lắp ráp toàn bộ hệ thống. Chúng tôi cũng sử dụng các đầu nối chịu nhiệt cao, vì vậy bạn không cần lo lắng về việc các chân kết nối bị oxi hóa trong quá trình sử dụng. Vì bạn có thể tận dụng tối đa mỗi watt năng lượng, bạn có thể sử dụng nguồn điện nhỏ hơn. Hoặc tốt hơn nữa, bạn có thể rút ngắn thời gian cần thiết để làm nóng tấm wafer. Điều này giúp giảm áp lực lên hệ thống điện, đồng thời giúp tấm wafer đạt được nhiệt độ mong muốn nhanh hơn.