Trên dây chuyền sản xuất, các khay chứa wafer sau khi được xử lý bằng phương pháp làm khô ướt sẽ không thể mang theo hơi ẩm vào khu vực in ấn. Các...

Trong quy trình in ấn bằng phương pháp lithography, mọi thứ đều diễn ra theo một trình tự nhất định: các FOUP sau khi được làm sạch sẽ được đưa vào...