Trên dây chuyền sản xuất, các khay chứa wafer sau khi được xử lý bằng phương pháp làm khô ướt sẽ không thể mang theo hơi ẩm vào khu vực in ấn. Các lớp màng còn sót lại và vết nước không chỉ làm giảm hiệu suất sản xuất, mà còn buộc phải tiến hành gia công lại, đồng thời gây áp lực lên quá trình sấy trong lần in tiếp theo. Thiết bị sấy cần phải tạo ra môi trường khô đồng đều, mà không tạo ra các hạt bụi hay tăng nhiệt độ cho khay chứa wafer.
Điều quan trọng cần lưu ý Chúng tôi thiết kế thiết bị sấy này dựa trên nguyên lý sưởi ấm bằng tia hồng ngoại ngắn bước sóng (NIR). Tia hồng ngoại có thể xâm nhập trực tiếp vào nước và các lớp màng mỏng, nhờ đó wafer có thể được làm khô mà không làm tăng nhiệt độ của khay chứa wafer. Điều này giúp tạo ra môi trường nhiệt độ đồng đều trên toàn bộ bề mặt wafer, với sai số nhiệt độ ≤ 0,1°C trong vùng quan trọng nhất. Khả năng tái tạo môi trường nhiệt độ đồng đều được đảm bảo nhờ hệ thống kiểm soát vòng kín; mỗi chu kỳ sấy đều cho ra môi trường nhiệt độ ổn định. Thiết bị này có thể hoạt động trong các phòng sạch loại 1–100, đồng thời đảm bảo không tạo ra bụi trong quá trình hoạt động. Đường dẫn khí thải cũng được thiết kế sao cho không có bụi lọt vào lại.
Tại sao điều này quan trọng trong quá trình sản xuất? Trong quá trình sản xuất, thiết bị sấy này giúp loại bỏ các yếu tố gây biến động khi chuyển wafer từ bước làm sạch sang bước in ấn. Phim phản quang rất nhạy cảm với nhiệt độ, vì vậy ngay cả những điểm nóng nhỏ cũng có thể gây ra sự biến đổi về kích thước đường kính của các đường nét trên wafer. Môi trường nhiệt độ đồng đều do thiết bị sấy tạo ra giúp giảm thời gian sấy, giảm mức tiêu thụ khí và năng lượng, đồng thời giảm tỷ lệ wafer bị hỏng do vết nước. Thiết bị này được thiết kế để hoạt động liên tục 24 giờ, với môi trường nhiệt độ ổn định và hệ thống đèn bền bỉ, giúp duy trì quy trình sản xuất ổn định mà không cần can thiệp không mong muốn.
Những điều cần lưu ý Phương pháp sấy bằng tia hồng ngoại chỉ hoạt động khi có tầm nhìn trực tiếp giữa nguồn sáng và wafer. Do đó, khoảng cách giữa các chi tiết trong hệ thống rất quan trọng. Chúng tôi chỉ định rõ khoảng cách và hướng lắp đặt để đảm bảo sự đồng đều về nhiệt độ. Nếu khoảng cách này không được tuân thủ, sẽ xuất hiện các vùng có nhiệt độ khác nhau. Thiết bị này cần được lắp đặt trong môi trường phòng sạch, và hệ thống đèn cũng có tuổi thọ nhất định – cần lên kế hoạch thay thế đèn định kỳ để đảm bảo chất lượng và sự ổn định về nhiệt độ.