如何确保100级洁净室始终处于清洁状态？
如果您在真空室或100级洁净室内对工件进行加热，那么您应该很清楚其中的风险：哪怕只有一粒微小的灰尘或有害气体存在，整批的晶圆或光学涂层就会报废。
大多数普通的加热元件并不适合用于这种环境。它们会释放出粘合剂或氧化物，这就好比在手术室里撒上亮片一样糟糕。为了解决这个问题，我们使用了高纯度的合成石英红外灯。
防止气体泄漏
所使用的材料都是经过处理的熔融石英，其中不含任何金属杂质。为什么呢？因为当灯泡达到工作温度时，它不应该释放出挥发性有机化合物。普通玻璃在这种高温下会软化或破裂，而我们的石英则能保持坚固且透明，即使在极高的温度下也是如此。此外，我们也不使用廉价的粘合剂，所有的连接处都是通过熔合或机械固定来实现的，这样就不会有气体泄漏或部件损坏的问题。
应对真空环境
在真空环境中，由于没有空气来带走热量，因此很容易导致灯泡过热甚至爆炸。为了解决这个问题，我们设计的灯泡具有高密度的短波辐射功能，这样就能将能量直接传递到目标物体上，而不会让整个腔体过热。
一个小贴士：确保用于安装灯泡的支架是由低膨胀系数的合金制成的。如果支架在温度变化时过度膨胀，就有可能导致灯泡破裂。虽然这只是一个小细节，但却是避免很多麻烦的关键。
投入使用
我们提供的灯泡都配有与真空环境相容的接口，这样可以简化安装过程。在接线时，请注意端盖的扭矩大小。虽然需要确保良好的真空密封，但如果扭矩过大，就会对石英造成损伤。
如果您需要使用高功率的灯泡，那么请务必确保冷却装置能够有效带走灯泡产生的热量。
这些灯泡可以直接替代您现有的高纯度灯泡。最后一点：在初次使用时，要密切关注真空泵的运行状况。因为在初始加热阶段，系统的负担会比较重，所以必须确保系统能够承受这种负荷。