高能效晶圆加热器

防止碎片飞溅：在灯管失效时保护晶圆免受污染 在大型生产线上，灯管突然损坏带来的不仅仅是短暂的停机时间，更是一场灾难。 当石英管破裂时，玻璃碎片和卤素气体会飞溅到晶圆上，这会直接导致整批产品报废。而清理工作则极其繁琐，没人愿意在周二还要处理这种事情。 我们设计的红外加热器就是为了避免这种情况发生。这...