灰化工艺用红外加热

在光刻工序中，灰化室负责控制去除光刻胶时的温度。如果温度偏离设定值半度以上，就可能会导致残留物产生，更糟糕的是，还可能对下层的材料造成损害。只要有一块晶圆出现问题，整个生产流程就会出故障。而红外加热技术则能确保温度始终处于可控范围内。 从技术角度来说，什么才是关键？ 我们使用短波红外发射器来传递热...