用于制造红外灯的石英套管

在光刻车间里，只要在光刻胶烘烤过程中出现半度的偏差，就可能导致整批产品报废。因此，人们会使用短波红外光来进行软烘烤和硬烘烤——因为这种光响应速度很快。不过，前提是灯光的输出必须保持稳定，同时设备内部也必须保持清洁。 正因如此，石英套管并非仅仅是简单的保护层而已。它实际上参与了热传导过程：它能够调节...