CVD 化学气相沉积 加热器

在制造车间里，腔室温度的波动会迅速体现为晶圆厚度的不均匀以及良率的下降。这种问题一旦出现就无法再解决。因此，加热器必须从第一块晶圆开始就始终保持稳定的温度状态。 技术上关键的因素 我们设计的CVD加热器采用了石英窗口后面的短波红外卤素元件作为热源。热量能够直接传导到晶圆上，从而使晶圆的温度均匀性保...