可调光半导体加热灯

在工厂车间，热漂移不是讨论题——它以十分之一度计量。软烘烤温度即使偏高一小部分，光刻胶尺寸控制就会失准。干燥不到位，会埋下微观缺陷，这些缺陷只有在切割后才显现。工艺设备中的加热灯不仅是一个零件；它是决定工艺窗口重复性的重要热源。 我们研发了可调光半导体加热灯，正是针对这种工艺需求。该热源设计用于在...