标签为“铝”的页面如下 红外灯用铝制反射器 停止晶圆污染的噩梦 说实话,当在高负荷运行过程中灯泡突然损坏时,那可不仅仅是短暂的停机时间而已——那简直就是一场灾难。玻璃碎片和卤素气体会溅到晶圆上,导致整批晶圆报废,而你则不得不重新对整个反应室进行清洁处理。这真是没人愿意面对的麻烦事。 正因如此,我们才以这样的方式设计我们的红外系统。 秘诀在于... Read more...
红外灯用铝制反射器 停止晶圆污染的噩梦 说实话,当在高负荷运行过程中灯泡突然损坏时,那可不仅仅是短暂的停机时间而已——那简直就是一场灾难。玻璃碎片和卤素气体会溅到晶圆上,导致整批晶圆报废,而你则不得不重新对整个反应室进行清洁处理。这真是没人愿意面对的麻烦事。 正因如此,我们才以这样的方式设计我们的红外系统。 秘诀在于... Read more...