防止灯泡损坏，避免毁掉你的晶圆 在那些需要大量处理晶圆的设备中，灯泡的损坏可不是小事——那简直就是一场灾难。当石英灯罩破裂时，玻璃碎片和蒸发的钨元素就会掉落在晶圆上，这无疑会导致整批晶圆报废。接下来还要进行繁琐的清洁工作，没人愿意在周末做这种事情。 应对高温问题 我们设计的红外线灯泡能够承受半导体...

如何正确干燥MEMS晶圆 干燥MEMS传感器晶圆其实是一项技术要求极高的工作。如果温度控制不当，就容易导致粘附现象或表面张力问题，从而破坏传感器功能。为了解决这个问题，我们使用红外加热元件来迅速蒸发残留的液体。这样既能去除水分，又不会损坏那些脆弱的薄膜结构。 热量的控制 在热量方面，需要足够的能量...

在氢气传感器生产过程中，正确使用红外系统至关重要。制造氢气传感器需要精确控制温度变化，否则，传感器的隔膜就会损坏，催化剂也无法正常工作。 如果你仍然依赖传统的对流式烘箱，那实际上就是在凭猜测行事。而在现代智能工厂中，我们则采用高密度的红外系统。因为这样可以将热能转化为数据流，从而实现精确的控制。...

红外辐射与热风：哪种方式更适合传感器封装？ 如果你仍然依赖热风来对半导体进行深度处理，那么你其实每天都在为时间付出代价。 想想对流式烤箱的工作原理吧：先加热空气，再让空气去加热工件。这其实是一种中间媒介。而红外辐射则不需要这种中间媒介——它直接利用电磁波将能量传递给传感器封装部位。 速度极快，真的...

在生产线上的重要性 在生产线上，300 mm的晶圆在软烘焙和硬烘焙过程中不能承受漂移。场内2°C的热点会导致CD偏移，留下污垢，并将整批产品变为废料。您需要的温度控制应像真正的工艺参数一样，而不是最佳猜测。 关键技术 我们为晶圆工作开发了精密的红外传感器，以确保烘焙表面的热均匀性保持在...