半导体退火红外灯

在半导体制造现场，温度控制至关重要。如果软烘烤或硬烘烤的温度出现偏差，或者退火过程不够精确，那么就会导致线宽控制失灵、残留物增多，进而降低产品良率。我们设计的半导体退火用红外线灯，正是为满足先进制程的需求而打造的。 从技术层面来看，最重要的是能够精确控制温度。该红外线灯采用快速响应的石英外壳，能够...