在制造车间里，经过洗涤处理后的载片无法将水分带入光刻工位。残留的薄膜和水分不仅会降低生产效率，还会导致需要重新加工，同时也会增加下一次烘烤时的热量负担。因此，干燥设备必须能够实现均匀的干燥效果，同时不能产生新的颗粒，也不应对载片造成过度的热应力。 核心优势 我们设计的晶圆载片清洁干燥机采用了短波红...

在光刻车间里，流程是固定的：经过清洗后的FOUP会被送入干燥设备中，时间紧迫。如果烘干温度有丝毫偏差，光刻胶就无法正常固化，反而会形成一层薄膜。这样一来，生产线就会忙于处理缺陷，而无法保证产品合格率。我们设计的FOUP干燥机就是为了在问题出现之前就加以防止。 关键在于精确的温度控制 我们能够将整个...