用于冲洗的防水红外灯
为什么防水红外固化技术能够满足无铅标准的要求 在半导体行业,人们一直在努力实现“绿色”和无铅化生产标准。理论上这听起来很棒,但在实际操作中却面临着诸多难题。
大多数人仍然使用传统的对流式烤箱来加热芯片。问题在于,为了加热一个芯片,整个房间都需要被加热,这无疑是一种巨大的能源浪费。此外,这种方式还容...
冲洗灯后的快速干燥晶圆
在制造车间里,清洗的效果其实取决于干燥的效果。清洗后留下的水痕、污渍以及未完全蒸发的水分,都会迅速降低产品良率——尤其是在28纳米以下的工艺中。使用普通加热装置的话,会出现温度滞后现象,而且每当夹持装置上下移动时,就容易产生颗粒物。
而采用快速干衣灯,就可以快速且精确地完成这一流程。
关键点在于:...