用于半导体加热器的热电偶

在半红外加热中准确控制温度 如果我们真的想减少半导体制造过程中的碳排放，那就必须摒弃那些效率低下的传统电阻炉。使用红外加热则是一种更为明智的选择——因为这种方式是直接对晶圆本身进行加热，而不是加热整个房间。 不过，这里有个问题：如果缺乏精确的温度传感器，那么就很容易出现错误，从而导致一批晶圆报废。...