MEMS传感器晶圆干燥加热器

如何正确干燥MEMS晶圆 干燥MEMS传感器晶圆其实是一项技术要求极高的工作。如果温度控制不当，就容易导致粘附现象或表面张力问题，从而破坏传感器功能。为了解决这个问题，我们使用红外加热元件来迅速蒸发残留的液体。这样既能去除水分，又不会损坏那些脆弱的薄膜结构。 热量的控制 在热量方面，需要足够的能量...