晶圆氧化加热元件

在晶圆氧化过程中，温度波动不仅会体现在图表上的数值上，还会对产品良率产生严重影响。如果晶圆表面的某个点温度高出2°C，就可能导致阈值电压发生变化，从而让数周的调试工作前功尽弃。我们设计的晶圆氧化加热元件可以消除这种不确定性。 从技术角度看，什么才是关键？ 该加热元件是以石英为基材的，具有辐射特性，...