MEMS传感器晶圆干燥加热器
如何正确干燥MEMS晶圆
干燥MEMS传感器晶圆其实是一项技术要求极高的工作。如果温度控制不当,就容易导致粘附现象或表面张力问题,从而破坏传感器功能。为了解决这个问题,我们使用红外加热元件来迅速蒸发残留的液体。这样既能去除水分,又不会损坏那些脆弱的薄膜结构。
热量的控制
在热量方面,需要足够的能量...
工厂干燥系统的能源审计
引言 想象一下:你正在打造一座智能工厂,那里的一切都由数据与精确度来驱动。而您最不希望出现的,就是那些性能不稳定或效率低下的加热装置。
正因如此,我们设计的红外干燥系统采用了高功率的卤素元件。这类元件能够提供即时的、集中的热量,而且其工作状态可以精确控制到最细微的层面。它们能够完美融入自动化生产流...
冲洗灯后的快速干燥晶圆
在制造车间里,清洗的效果其实取决于干燥的效果。清洗后留下的水痕、污渍以及未完全蒸发的水分,都会迅速降低产品良率——尤其是在28纳米以下的工艺中。使用普通加热装置的话,会出现温度滞后现象,而且每当夹持装置上下移动时,就容易产生颗粒物。
而采用快速干衣灯,就可以快速且精确地完成这一流程。
关键点在于:...