FOUP 前端开口式统一封装 干燥机

在光刻车间里，流程是固定的：经过清洗后的FOUP会被送入干燥设备中，时间紧迫。如果烘干温度有丝毫偏差，光刻胶就无法正常固化，反而会形成一层薄膜。这样一来，生产线就会忙于处理缺陷，而无法保证产品合格率。我们设计的FOUP干燥机就是为了在问题出现之前就加以防止。 关键在于精确的温度控制 我们能够将整个...