晶圆承载器清洗干燥机

在制造车间里，经过洗涤处理后的载片无法将水分带入光刻工位。残留的薄膜和水分不仅会降低生产效率，还会导致需要重新加工，同时也会增加下一次烘烤时的热量负担。因此，干燥设备必须能够实现均匀的干燥效果，同时不能产生新的颗粒，也不应对载片造成过度的热应力。 核心优势 我们设计的晶圆载片清洁干燥机采用了短波红...