排查RTP系统加热器故障

在芯片制造过程中，RTP加热器出现故障时，并不会立刻显现出来。其表现形式可能是软烘烤过程中的温度波动、曝光后的线条宽度变化，或是蚀刻速率不稳定。晶圆上会留下温度不均匀的痕迹，最终导致产品成为废品——而不仅仅是生产中断而已。 从技术层面来看，重要的是确保加热器的加热行为具有可重复性。我们致力于实现晶...