半导体机械备件加热器

在晶圆厂车间，光刻胶烘烤步骤没有任何漂移余地。90°C的软烘烤温度如果漂移±2°C，会导致光刻胶轮廓膨胀，从而影响线宽控制。所需的是一种能像固定常数一样保持晶圆温度的加热器，而非变量型。 技术关键点 我们的半导体设备备件加热器采用石英卤素灯或中波红外元件，因其响应速度快且输出稳定。核心指标是在活性...