冲洗灯后的快速干燥晶圆

在制造车间里，清洗的效果其实取决于干燥的效果。清洗后留下的水痕、污渍以及未完全蒸发的水分，都会迅速降低产品良率——尤其是在28纳米以下的工艺中。使用普通加热装置的话，会出现温度滞后现象，而且每当夹持装置上下移动时，就容易产生颗粒物。 而采用快速干衣灯，就可以快速且精确地完成这一流程。 关键点在于：...