다양한 종류의 IR 램프가 대량으로 준비되어 있습니다.
생산 현장에서는, 베이킹 프로파일은 단순한 권장 사항이 아니라 반드시 준수해야 하는 엄격한 제약 조건입니다. 만약 램프의 위치가 약간만 틀어져도, 과열된 부분이 생기고, 그로 인해 소프트 베이킹이나 하드 베이킹 과정에 문제가 생깁니다. 선의 굵기도 일정하지 않아지고,...
팹용 적외선 램프용 쿼츠 슬리브
제조 현장에서는, 포토레지스트를 가열할 때 단 0.5도만의 오차가 있어도 전체 제품이 폐기되는 결과를 초래할 수 있습니다. 빠른 반응 속도를 위해 단파 적외선을 사용하지만, 이는 램프의 출력이 일정하고 표면이 깨끗할 경우에만 가능합니다.
그래서 석영 슬리브는 단순한...
소각 공정용 가열 적외선
리소그래피 공정에서는 아싱 챔버가 포토레지스트를 제거하는 데 필요한 열조건을 결정합니다. 설정된 온도에서 0.5도만 벗어나도 잔여물이 남거나, 더 심한 경우 아래층에 손상이 생길 수 있습니다. 단 한 개의 웨이퍼만 문제가 되어도 전체 공정이 망가질 수 있습니다. 적외...
탄소 크리스탈 히터
겨울이 되면 문 아래나 창문 주변, 심지어 방의 구조적인 부분까지도 균열이 생깁니다. 공기가 차가워지면 일반적인 히터는 시끄러운 소음을 내며 작동하고, 추위는 여전히 남아 있습니다. 우리가 원하는 것은 빠르게 따뜻해지고, 고르게 온도가 유지되며, 실제로 생활하는 환경...
아기방 히터
도매업체들이 판매하기에 적합하고 실제 사용 시에도 문제가 없는 히터를 찾을 때, 가격은 단지 고려해야 할 요소 중 하나에 불과합니다. 실내에서 안정적으로 작동하며, 규정을 준수하고, 고객의 문의 전화도 줄여주는 제품이 필요합니다. 저희가 생산하는 CE 인증을 받은 적...
반도체 어닐링용 적외선 램프
팹 내에서는 온도 변동이 절대 용납될 수 없습니다. 소프트 베이크나 하드 베이크 과정에서의 온도 변동, 부적절한 어닐링 과정은 결국 회로선의 폭 제어 실패, 잔여 필름 형성, 그리고 생산 효율 저하로 이어집니다. 우리는 첨단 공정에 필요한 엄격한 기준을 충족시키도록...
실외 방사형 히터
바람이 세차게 불면 야외에서의 저녁 시간은 금방 끝나버립니다. 밖으로 나가면 편안함은 사라집니다. 우리는 바로 그런 상황을 고려하여 모든 야외용 방열기를 설계합니다. 소음이나 눈부심, 그리고 부피 증가 없이 따뜻함을 제공하는 것이죠.
내부 구조가 중요한 이유 이 장치...
웨이퍼 캐리어 청소 건조기
제조 현장에서는, 세척기에서 나온 습식 처리된 웨이퍼 운반체가 리소그래피 공정으로 수분을 가져갈 수 없습니다. 잔여된 필름과 물자국들은 생산 효율을 떨어뜨릴 뿐만 아니라, 재작업을 유발하고 다음 가열 공정에서의 열적 부하를 증가시킵니다. 따라서 건조기는 입자를 추가하...
FOUP(프론트 오픈 유니파이드 포드) 건조기
리소그래피 공정에서는 잘 알려진 원칙이 있습니다. 세척이 끝난 후 FOUP들은 젖은 상태로 들어오며, 시간도 계속 흘러갑니다. 만약 건조 과정에서 약간이라도 오차가 생기면, 포토레지스트가 제대로 경화되지 않고 표면에만 쌓이게 됩니다. 그러면 결함을 수정하는 데 시간이...
와이퍼 산화 가열 요소
제조 현장에서는 산화 과정 중에 발생하는 온도 변동이 단순히 수치로만 나타나는 것이 아니라, 생산 효율에 직접적인 영향을 미칩니다. 웨이퍼 위의 특정 부분에서 2°C 정도의 온도 상승이 발생하면 임계 전압이 변해버려, 몇 주에 걸쳐 신중하게 조절한 설정값들이 모두 무...
RTP 시스템 히터의 문제 해결
제조 공정에서 RTP 히터의 문제는 명백하게 드러나지 않습니다. 대신, 소프트 베이크 과정에서의 온도 변동이나 노출 후 선의 굵기 변화, 혹은 에칭 속도가 일정하지 않은 현상으로 나타납니다. 웨이퍼에는 온도 불균일성의 흔적이 남으며, 그 결과 웨이퍼는 폐기되게 됩니다...
맞춤형 로고가 적용된 히터
샤워를 마치고 차가운 바닥에 발을 내딛는 것은 불편할 뿐만 아니라, 안전상의 위험도 있습니다. 미끄러운 타일, 급격한 온도 변화, 그리고 습기로 인한 전기적 문제들이 단순한 욕실 사용을 위험한 상황으로 만듭니다. 일반적인 욕실용 히터는 높은 습도를 감당할 수 없어서,...
CVD(화학기상증착) 히터
제조 현장에서는 챔버 내 온도의 변동이 금방 나타나며, 이는 웨이퍼의 두께 불균일성과 수율 저하로 이어집니다. 일단 그런 상황이 발생하면 더 이상 해결할 수 없습니다. 따라서 히터는 첫 번째 웨이퍼부터 마지막 웨이퍼까지 일정한 열 조건을 유지해야 합니다.
기술적으로...
ERP 규격을 준수하는 히터
추운 아침에 작업실이나 지붕이 있는 공간에 서서, 공간이 따뜻해지기를 기다리는 그 느낌을 아시나요? 그동안 에너지 소비량은 계속 증가합니다. 중요한 것은 적외선 난방이 편안한지 여부가 아니라, 실제로 에너지를 절약할 수 있는지입니다. 에너지 소비를 관리하는 시설이나...
전기 히터
적외선 전기 히터 위에 쌓인 그 얇은 먼지층 말입니다. 겉보기에는 해롭지 않아 보일 수 있지만, 사실은 히터의 성능을 저하시키는 원인이 됩니다. 실내든, 차고든, 작업대 옆이든 상관없이, 먼지로 인해 히터가 더 열심히 작동해야 하며, 그 결과 에너지 소비가 증가하고...