공기를 가열하는 것을 그만두고, 제품 자체를 직접 가열해야 합니다. 현대적인 공장을 계획한다면, 가장 먼저 해야 할 일은 구식의 가열 방식을 버리는 것입니다. 그런 방식들은 비효율적입니다. 우리는 고효율의 적외선 가열 시스템을 사용합니다. 왜냐하면 이 시스템들은 구식...

왜 웨이퍼 가공에는 적외선이 열공기보다 더 효과적인가? 만약 여전히 열공기를 이용해 가공을 진행한다면, 하루 중 절반의 시간을 기다리는 데만 소비하게 됩니다. 이건 단순히 “더 좋은 장비”를 사용하는 문제가 아닙니다. 핵심은 시간입니다. 심도 있는 가공 과정에서는 공...

리소그래피 공정에서는 아싱 챔버가 포토레지스트를 제거하는 데 필요한 열조건을 결정합니다. 설정된 온도에서 0.5도만 벗어나도 잔여물이 남거나, 더 심한 경우 아래층에 손상이 생길 수 있습니다. 단 한 개의 웨이퍼만 문제가 되어도 전체 공정이 망가질 수 있습니다. 적외...

제조 현장에서는 산화 과정 중에 발생하는 온도 변동이 단순히 수치로만 나타나는 것이 아니라, 생산 효율에 직접적인 영향을 미칩니다. 웨이퍼 위의 특정 부분에서 2°C 정도의 온도 상승이 발생하면 임계 전압이 변해버려, 몇 주에 걸쳐 신중하게 조절한 설정값들이 모두 무...