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금 코팅 반사기를 활용한 글로브박스 히터의 복사 에너지 밀도 최적화

금 코팅 반사기를 활용한 글로브박스 히터의 복사 에너지 밀도 최적화

에너지 낭비를 막으세요: 웨이퍼를 더 효과적으로 가열하는 방법 만약 글로브박스 안에서 웨이퍼를 가열해본 적이 있다면, 그 곤란함을 잘 알고 있을 것입니다. IR 램프에 에너지를 공급하지만, 그 에너지의 절반은 챔버 벽에 부딪혀 사라집니다. 이는 엄청난 낭비입니다. 결...
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