금 코팅 반사기를 활용한 글로브박스 히터의 복사 에너지 밀도 최적화
에너지 낭비를 막으세요: 웨이퍼를 더 효과적으로 가열하는 방법 만약 글로브박스 안에서 웨이퍼를 가열해본 적이 있다면, 그 곤란함을 잘 알고 있을 것입니다. IR 램프에 에너지를 공급하지만, 그 에너지의 절반은 챔버 벽에 부딪혀 사라집니다. 이는 엄청난 낭비입니다. 결...
글러브박스 적외선 히터 소자
왜 우리는 납이 없는 반도체를 가공할 때 적외선을 사용하는가?
솔직히 말해서, 기존의 대류식 건조 방식은 이미 구식이에요.
글러브박스에서 작업할 때, 몇 개의 부품만을 건조시키기 위해 전체 챔버의 질소 가스를 가열하는 것은 에너지 낭비일 뿐입니다. 그래서 점점 더 많...
와이퍼 산화 가열 요소
제조 현장에서는 산화 과정 중에 발생하는 온도 변동이 단순히 수치로만 나타나는 것이 아니라, 생산 효율에 직접적인 영향을 미칩니다. 웨이퍼 위의 특정 부분에서 2°C 정도의 온도 상승이 발생하면 임계 전압이 변해버려, 몇 주에 걸쳐 신중하게 조절한 설정값들이 모두 무...