Mangueira de quartzo para lâmpada IR de fabricação
No chão de produção, uma deriva de meio grau durante o processo de secagem do fotoresist já é suficiente para estragar todo um lote de produtos....
Processo de aquecimento por infravermelho para cinzamento
No setor de litografia, a câmara de eliminação de resíduos determina o balanço térmico necessário para a remoção do fotoresistente. Qualquer desvio...
Lâmpada infravermelha para revenimento de semicondutores
Na fábrica de semicondutores, as flutuações térmicas são inaceitáveis. Qualquer variação na temperatura durante o processo de cozimento, ou um perfil...
Secador para limpeza de transportadores de wafer
No chão de fábrica, o transportador de wafers após ser submetido ao processo de limpeza não pode levar umidade para dentro da área de litografia. As...
Secador FOUP (Front Opening Unified Pod)
No setor de litografia, todos sabem qual é o procedimento: as FOUPs chegam molhadas, após serem limpas, e o tempo está sempre contando. Se houver...
Elemento de aquecimento por oxidação de wafer
Na linha de produção, as flutuações térmicas durante a oxidação não se manifestam apenas como números num gráfico – elas afetam diretamente o...
Solução de problemas no aquecedor do sistema RTP
Na linha de produção, um problema com o aquecedor RTP não se manifesta de maneira evidente. Ele se mostra através de desvios na temperatura durante o...
Aquecedor de CVD (Deposição por Vapor Químico)
Na linha de produção, quaisquer variações na temperatura da câmara são percebidas rapidamente – sob a forma de irregularidades na espessura das...
Cura por infravermelho para cola de semicondutores
Numa linha de produção 24/7, não há tempo para monitorar manualmente a cura do adesivo. Uma variação de temperatura, uma cura não uniforme e você...
Sensor IR de precisão para wafer
Na linha aquele wafer de 300 mm não pode permitir desvios durante o soft bake e hard bake. Um ponto quente de 2°C em todo o campo irá alterar o CD,...
Aquecedor de temperatura de alta precisão
No chão de fábrica, excursões térmicas não aparecem com aviso — manifestam-se como perda de rendimento. Um desvio de 0,5°C durante a queima do...
Peças de reposição para aquecedor de máquinas semicondutoras
No piso fabril, as etapas de bake do fotoresiste não permitem margem para deriva. Um soft bake a 90°C com deriva de ±2°C? Isso faz o perfil do...
Lâmpada de aquecimento semicondutora regulável
No chão de fábrica, a deriva térmica não é discutível—é medida em décimos de grau. Elevar a temperatura do soft bake mesmo que seja uma fração, e o...