Otimização da densidade de energia radiante em aquecedores de glovebox por meio de refletores revestidos de ouro
Pare de desperdiçar energia: uma maneira melhor de aquecer as bolachas semicondutoras Se você já tentou aquecer bolachas semicondutoras dentro de uma...
Prevenção da contaminação das wafers por meio de um design especial para lâmpadas infravermelhas de proteção
Parando o caos: quando as lâmpadas infravermelhas falham no processamento de wafers Se você já teve uma lâmpada infravermelha que quebrou durante um...
Maximização da transferência de energia radiativa em aquecedores de wafers por meio de reflexores revestidos com ouro
Pare de desperdiçar calor: Por que os refletores revestidos de ouro são realmente importantes Quando se processam bolachas semicondutoras, cada watt...
Aquecedor de wafer eficiente em termos energéticos
Pare os cacos de vidro: mantenha suas pastilhas limpas quando as lâmpadas queimam Em uma linha de produção de grande volume, a queima de uma lâmpada...
Distância de segurança para o aquecimento da wafer
Por que o infravermelho é melhor que o ar quente para o tratamento de wafers
Se você ainda depende da circulação de ar quente, está, basicamente,...
Sensor de temperatura para ferramenta de wafer
Evite que as lâmpadas queimem e destruam seus wafers
Em equipamentos de alto volume para processamento de wafers, o fato de uma lâmpada queimar não é...
Aquecedor para secagem de wafers com sensores MEMS
Como secar corretamente as pastilhas de MEMS
Secar as pastilhas dos sensores MEMS é uma tarefa delicada. Se o controle térmico não for feito da...
Refletor para lâmpada de cura de wafer
Como tirar o máximo proveito do processo de cura das pastilhas
Ao curar pastilhas, é preciso encontrar um equilíbrio. É necessário remover os...
Elemento de aquecimento por oxidação de wafer
Na linha de produção, as flutuações térmicas durante a oxidação não se manifestam apenas como números num gráfico – elas afetam diretamente o...
Sensor IR de precisão para wafer
Na linha aquele wafer de 300 mm não pode permitir desvios durante o soft bake e hard bake. Um ponto quente de 2°C em todo o campo irá alterar o CD,...